新進教師:鄭雲謙教授

撰文:鄭雲謙教授(臺大電機系、電子所教授)

我是電子所奈米電子組的新進教授,鄭雲謙,我的研究領域是:低溫電漿在半導體製程和醫學應用,歡迎各位有興趣的老師和同學們來找我聊聊。

自我介紹該寫什麼呢?我想研究領域從網頁和發表作品便可一窺一二,然而回到母系服務於我而言意義非凡,我的發展歷程受台大電機系的影響甚深,我想從這裡為出發點吧。

我畢業於台大電機系(B89)、台大電機所醫工組(現台大生醫電子所,R93)。時光荏苒,不久前電機系剛舉辦了B89的二十週年同學會,幾個月後,我又回到母系服務貢獻。台大電機對我而言,是人生中非常重要的地方,我在這裡度過了最快樂、眼界大開的六年。感謝系上和研究所師長們的教導和訓練,使我打下終身受用的基礎知識和研究態度,加上各種形式上的神人同學們,那些看似不經意的各種嘴砲,讓我擴展了方方面面的知識,體會到了世界之大,也打下了我不斷挑戰自己、探索世界的基石。回溯這二十多年的發展,我衷心感謝系上師長、學長和同學們的協助和建議,讓我有機會能回系上貢獻一己之力。

在碩班時,我懷抱著遠大的理想,希望未來能貢獻自己的知識而幫助更多的人,因此醫工組是我毫不猶豫的第一選擇,我碩班師從於李百祺老師,做編碼波形在醫用超音波對比劑影像的研究,是我初窺學術研究的殿堂,也動了想要出國讀博士的念頭。我同時錄取了美國、德國多個學校,彼時正逢生物晶片熱潮,那時覺得小小一片晶片能一次做千百種診斷,又或即時驗出疾病非常有趣,也符合自己想要降低醫療成本讓醫療普及到資源貧乏地區的願望,就去了德國癌症研究中心做高密度胜肽陣列晶片的製程研究:利用CMOS陣列晶片產生的強電場,吸引微米氨基酸固態粒子進行定位和胜肽合成,可一次篩檢數萬種蛋白質序列。畢業後,我也面臨到了人生的重大抉擇:留在歐洲、回臺灣、還是再到其他國家呢?

最後,我回到台灣在新竹的交通大學任教。在交大的十多年中,站在電漿前輩巨人的肩膀上,我的前八年主要將電漿技術大量使用在醫學工程中:原本生物晶片製程中用於表面改質的電漿,直接應用到人體各種治療,發展癌症/慢性傷口/經皮藥物吸收等醫學應用,也建立固態kV-kHz脈衝電路,低溫電漿源,電漿AI預測等技術提升電漿效能。在醫用電漿硬體技術成熟後,又因應產業和學生需求轉向電漿半導體製程的研究,包含ICP電漿蝕刻,藉由波形和腔體設計,調控出高深寬比蝕刻所需的離子能量分布和自由基組成,也往薄膜沈積和電漿輔助拋光發展,在這段時間,盡我所能地將電漿玩了個透徹。

研究之路漫漫,從碩班為起始點,我在二十多年來探索了許多不同的領域,有辛苦掙扎之處,然更多的是看到成果那一瞬的喜悅和成就,更感謝的是,這段路上遇到的每個人,與學生、好友、各個研究者互相扶持一起做出許多有趣的研究成果。

人生好像阿甘的巧克力,有各種意想不到的歷程,回味起來都是好的。重新回到台大,騎著腳踏車在椰林大道上我內心無比感動,這種熟悉的感覺,同樣人文薈萃充滿閃閃發光知識的校園,彷彿又看到二十年前同學正在呼朋引伴,事物依舊:通宵準備期末的討論室還在、上手指識字課的大會議室也還在,不同的是我成為了作育英才的老師,一一的都在提醒我將這些延續下去的使命,我期望未來能盡最大的努力,不論在研究、服務、教學上,能對台大電機系做出最大的貢獻,讓優秀的學弟妹們有最好的環境學習成長,在世界各地發光發熱,在各領域帶領世界前進。