新進教師介紹

蔡坤諭教授於1995年畢業於台大機械系，1997年取得台大機械系碩士學位，1995至1997年間擔任國科會助理研究員，從事微影製程中晶圓定位相關問題之研究。1998年至2002年間赴美就讀於史丹福大學航太系，並於該校電機系資訊系統實驗室（Information Systems Lab）擔任研究助理，期間以半導體製造之先進控制、最佳化與訊號處理為研究重點，並進行美國國防部高等研究計畫局（DARPA）與美國國家科學基金會（NSF）對次世代微影系統之研究專案。

2002至2005年間，蔡教授於Intel公司擔任資深微影製程工程師，先後服務於奧勒岡州之十二吋廠Fab-D1C與新墨西哥州之十二吋廠Fab-11X，負責90奈米製程193奈米微影掃瞄機之效能分析與改良；之後於加州Components Research之Advanced Mask Technology部門，與SEMATECH及美國Lawrence國家實驗室共同從事32奈米以下製程次世代極紫外光(EUV)微影光罩檢測機之研究與規格制定。

蔡教授於2005年返回母校電機所擔任助理教授，目前研究重點為次世代微影系統之研發及晶片設計製造之有效整合(Design for Manufacturing)等。蔡教授希望藉由學界與業界之共同努力，協助半導體製程設備及相關技術於台灣生根茁壯, 以強化臺灣半導體產業於全球領先之優勢。